每次讲半导体,焦点都在台积电、英伟达这些设计与制造大厂。但再往上游走一层会发现:这些厂商手上的机台,是另一批公司做的。没有这些设备,再厉害的制程也只是一张设计图。
这篇就把半导体设备讲白。先看做一颗芯片要用哪些机台、全球五大设备厂各做什么,再盘一遍台湾的设备材料供应链,看看家登、崇越这些名字站在哪个位置。这是 ASML 与光刻设备那一关 的延伸地图版。
半导体设备在做什么?
把制造芯片想成在一片硅晶圆上「盖出」几百亿个微小电路,这个过程要反复用到好几类机台。
一片空白晶圆进厂后,要先长出材料层、涂上感光的光刻胶,再用光刻机把电路图「曝印」上去,接着刻蚀雕出线路、清洗、研磨整平,然后再长下一层、再印、再刻蚀……如此来回数百次,全程还要不停检测有没有缺陷。每一个步骤,都对应一类专门的设备。这些机台就是「半导体设备」。
核心数据快照
下面几个数字帮你抓住设备这一关的量级。市场数字多为产业协会估计。
| 主题 | 数值 | 时点/性质 |
|---|---|---|
| 全球半导体设备市场 | 2025 年约 1,350 亿美元(年增约 15%) | SEMI 估计 |
| 区域分布(前三) | 中国约 493 亿、台湾约 315 亿、韩国约 258 亿美元 | 2025,SEMI 估计 |
| 光刻龙头 ASML | 2025 年营收约 327 亿欧元;出货含 48 台 EUV | ASML 官方年报 |
| EUV 研发 | 投入逾 60 亿欧元、历时十多年才量产 | ASML 官方 |
| High-NA EUV | 0.55 NA、目标支持 2 纳米以下,仍处客户导入与验证阶段 | 业界进度 |
设备的几大类,各做什么
把主要设备类别摊开,对照它们在制程里的角色:
| 设备类别 | 在做什么(大白话) |
|---|---|
| 光刻 | 用光把光罩上的电路图「印」到晶圆的光刻胶上,是最关键也最贵的一关 |
| 黄光/光刻胶涂布 | 涂上感光材料、曝光、显影,与光刻搭配 |
| 刻蚀 | 依图形把不要的材料选择性「雕掉」,分干式与湿式 |
| 薄膜沉积 | 在晶圆上长出导体、绝缘层等各种薄膜(CVD/PVD/ALD) |
| 化学机械研磨(CMP) | 用研磨垫加研磨液把表面磨得超平,才能叠下一层 |
| 离子注入 | 把掺杂离子打入硅中,改变电性 |
| 检测与量测 | 量线宽、套刻、膜厚、缺陷,全程把关良率 |
| 清洗 | 去除微粒、残留与污染,常穿插在各步骤之间 |
全球五大设备厂
这一关高度集中在少数国际大厂,各有主场。
| 公司 | 主要角色 |
|---|---|
| ASML(荷兰) | 光刻/光刻机龙头,独家供应 EUV,是先进制程的命脉 |
| Applied Materials 应用材料(美) | 材料工程平台最广,沉积、刻蚀、CMP、离子注入、量测都做 |
| Lam Research 科林研发(美) | 刻蚀、沉积、清洗强项,尤其先进节点的等离子刻蚀 |
| Tokyo Electron 东京电子(日) | 涂布显影、沉积、刻蚀、清洗,多项设备市占高 |
| KLA 科磊(美) | 检测量测/制程控制龙头,帮晶圆厂把关良率 |
这五家加上少数专业厂,几乎决定了全世界晶圆厂能用什么工具。也因为门槛这么高,设备出口才会成为各国出口管制关注的对象,美国近年就多次收紧对中国的设备出口。想深入了解光刻这一关的命脉地位,可以看 ASML 那一关。
台湾的设备供应链:谁做什么
台湾不是国际前段核心设备(如光刻、刻蚀主机)的主要产地,但在不少利基环节有完整供应链。把名字按角色归位来看:
- 家登(GUDENG):做 EUV 光罩盒(保护光罩不被污染的载具)、晶圆载具与相关周边,属载具与微污染防护这一块。
- 辛耘(ScienBiziP)、弘塑(Grand Process Technology):做湿制程设备(清洗、湿刻蚀、光罩清洗等),弘塑另有相关化学品,辛耘也跨足再生晶圆服务。
- 中砂(Kinik):做 CMP 用的钻石碟与研磨耗材,是耗材与加工角色,不是主设备厂。
- 崇越(Topco):是半导体材料的通路与整合商,供应与代理涵盖硅晶圆、光刻胶、特殊气体、研磨液、载具、零组件等。
- 帆宣(Marketech):做厂务自动化与系统整合,加上设备材料的销售与服务。
- 闳康(MA-tek):做材料分析、故障分析等检测服务,本身不是设备或材料供应商。
- 均豪(Gallant Precision Machining):做自动化与检测设备(如自动光学检测、晶圆分类、先进封装相关自动化)。
要特别讲清楚:这些都是产业角色描述。这些公司的实际客户、机种与订单多半保密,市场上把它们对应到哪家大厂或哪个制程,常属法人推测或市场讨论,列名不代表已接单或保证受惠。
「半导体设备概念股」怎么看
「半导体设备概念股」常被市场拿来讨论,通常把上面这些设备、材料、载具、检测厂都放进这个分类。
理解这个族群的分工很有帮助,能让你看新闻时快速判断「这件事影响的是哪一环」。但有两件事要先放在心上。第一,台湾这些厂多在特定利基环节做产品,和国际五大设备厂的量级、地位不同,不宜混为一谈。第二,公开信息有限,市场上的供应链对应关系多属推测,列名不代表受惠。本文只描述产业角色与供应链分工,不整理受益股、不做个股排名,也不构成投资建议。
这一关的重点
看完半导体设备,先记住它的定位:这是整条供应链的最上游,没有设备,再厉害的制程也做不出来。
这一关门槛极高,由 ASML、应材、科林、东京电子、科磊五大国际厂把持,其中 ASML 的 EUV 更是先进制程的命脉。台湾的设备材料厂则多在载具耗材、湿制程、材料通路等利基环节切入。理解这个族群的分工很有用,但记得:分工地图和选股清单是两回事。