每次講半導體,焦點都在台積電、NVIDIA 這些設計與製造大廠。但再往上游走一層會發現:這些廠商手上的機台,是另一批公司做的。沒有這些設備,再厲害的製程也只是一張設計圖。

這篇就把半導體設備講白。先看做一顆晶片要用哪些機台、全球五大設備廠各做什麼,再盤一遍台灣的設備材料供應鏈,看看家登、崇越這些名字站在哪個位置。這是 ASML 與微影設備那一關 的延伸地圖版。


半導體設備在做什麼?

把製造晶片想成在一片矽晶圓上「蓋出」幾百億個微小電路,這個過程要反覆用到好幾類機台。

一片空白晶圓進廠後,要先長出材料層、塗上感光的光阻,再用微影機把電路圖「曝印」上去,接著蝕刻雕出線路、清洗、研磨整平,然後再長下一層、再印、再蝕刻……如此來回數百次,全程還要不停檢測有沒有缺陷。每一個步驟,都對應一類專門的設備。這些機台就是「半導體設備」。


核心數據快照

下面幾個數字幫你抓住設備這一關的量級。市場數字多為產業協會估計。

主題數值時點/性質
全球半導體設備市場2025 年約 1,350 億美元(年增約 15%)SEMI 估計
區域分布(前三)中國約 493 億、台灣約 315 億、韓國約 258 億美元2025,SEMI 估計
微影龍頭 ASML2025 年營收約 327 億歐元;出貨含 48 台 EUVASML 官方年報
EUV 研發投入逾 60 億歐元、歷時十多年才量產ASML 官方
High-NA EUV0.55 NA、目標支援 2 奈米以下,仍處客戶導入與驗證階段業界進度

設備的幾大類,各做什麼

把主要設備類別攤開,對照它們在製程裡的角色:

設備類別在做什麼(白話)
微影(光刻)用光把光罩上的電路圖「印」到晶圓的光阻上,是最關鍵也最貴的一關
黃光/光阻塗佈塗上感光材料、曝光、顯影,與微影搭配
蝕刻依圖形把不要的材料選擇性「雕掉」,分乾式與濕式
薄膜沉積在晶圓上長出導體、絕緣層等各種薄膜(CVD/PVD/ALD)
化學機械研磨(CMP)用研磨墊加研磨液把表面磨得超平,才能疊下一層
離子植入把摻雜離子打入矽中,改變電性
檢測與量測量線寬、疊對、膜厚、缺陷,全程把關良率
清洗去除微粒、殘留與污染,常穿插在各步驟之間

全球五大設備廠

這一關高度集中在少數國際大廠,各有主場。

公司主要角色
ASML(荷蘭)微影/微影機龍頭,獨家供應 EUV,是先進製程的命脈
Applied Materials 應用材料(美)材料工程平台最廣,沉積、蝕刻、CMP、離子植入、量測都做
Lam Research 科林研發(美)蝕刻、沉積、清洗強項,尤其先進節點的電漿蝕刻
Tokyo Electron 東京威力科創(日)塗佈顯影、沉積、蝕刻、清洗,多項設備市占高
KLA 科磊(美)檢測量測/製程控制龍頭,幫晶圓廠把關良率

這五家加上少數專業廠,幾乎決定了全世界晶圓廠能用什麼工具。也因為門檻這麼高,設備出口才會成為地緣政治的籌碼,美國近年就多次收緊對中國的設備出口。想深入了解微影這一關的命脈地位,可以看 ASML 那一關


台灣的設備供應鏈:誰做什麼

台灣不是國際前段核心設備(如微影、蝕刻主機)的主要產地,但在不少利基環節有完整供應鏈。把名字按角色歸位來看:

  • 家登:做 EUV 光罩盒(保護光罩不被污染的載具)、晶圓載具與相關周邊,屬載具與微污染防護這一塊。
  • 辛耘、弘塑:做濕製程設備(清洗、濕蝕刻、光罩清洗等),弘塑另有相關化學品,辛耘也跨足再生晶圓服務。
  • 中砂:做 CMP 用的鑽石碟與研磨耗材,是耗材與加工角色,不是主設備廠。
  • 崇越:是半導體材料的通路與整合商,供應與代理涵蓋矽晶圓、光阻、特殊氣體、研磨液、載具、零組件等。
  • 帆宣:做廠務自動化與系統整合,加上設備材料的銷售與服務。
  • 閎康:做材料分析、故障分析等檢測服務,本身不是設備或材料供應商。
  • 均豪:做自動化與檢測設備(如自動光學檢測、晶圓分類、先進封裝相關自動化)。

要特別講清楚:這些都是產業角色描述。這些公司的實際客戶、機種與訂單多半保密,市場上把它們對應到哪家大廠或哪個製程,常屬法人推測或市場討論,列名不代表已接單或保證受惠。


「半導體設備概念股」怎麼看

「半導體設備概念股」常被市場拿來討論,通常把上面這些設備、材料、載具、檢測廠都放進這個分類。

理解這個族群的分工很有幫助,能讓你看新聞時快速判斷「這件事影響的是哪一環」。但有兩件事要先放在心上。第一,台灣這些廠多在特定利基環節做產品,和國際五大設備廠的量級、地位不同,不宜混為一談。第二,公開資訊有限,市場上的供應鏈對應關係多屬推測,列名不代表受惠。本文只描述產業角色與供應鏈分工,不整理受益股、不做個股排名,也不構成投資建議。


這一關的重點

看完半導體設備,先記住它的定位:這是整條供應鏈的最上游,沒有設備,再厲害的製程也做不出來。

這一關門檻極高,由 ASML、應材、科林、東京威力科創、科磊五大國際廠把持,其中 ASML 的 EUV 更是先進製程的命脈。台灣的設備材料廠則多在載具耗材、濕製程、材料通路等利基環節切入。理解這個族群的分工很有用,但記得:分工地圖和選股清單是兩回事。

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