每次講半導體,焦點都在台積電、NVIDIA 這些設計與製造大廠。但再往上游走一層會發現:這些廠商手上的機台,是另一批公司做的。沒有這些設備,再厲害的製程也只是一張設計圖。
這篇就把半導體設備講白。先看做一顆晶片要用哪些機台、全球五大設備廠各做什麼,再盤一遍台灣的設備材料供應鏈,看看家登、崇越這些名字站在哪個位置。這是 ASML 與微影設備那一關 的延伸地圖版。
半導體設備在做什麼?
把製造晶片想成在一片矽晶圓上「蓋出」幾百億個微小電路,這個過程要反覆用到好幾類機台。
一片空白晶圓進廠後,要先長出材料層、塗上感光的光阻,再用微影機把電路圖「曝印」上去,接著蝕刻雕出線路、清洗、研磨整平,然後再長下一層、再印、再蝕刻……如此來回數百次,全程還要不停檢測有沒有缺陷。每一個步驟,都對應一類專門的設備。這些機台就是「半導體設備」。
核心數據快照
下面幾個數字幫你抓住設備這一關的量級。市場數字多為產業協會估計。
| 主題 | 數值 | 時點/性質 |
|---|---|---|
| 全球半導體設備市場 | 2025 年約 1,350 億美元(年增約 15%) | SEMI 估計 |
| 區域分布(前三) | 中國約 493 億、台灣約 315 億、韓國約 258 億美元 | 2025,SEMI 估計 |
| 微影龍頭 ASML | 2025 年營收約 327 億歐元;出貨含 48 台 EUV | ASML 官方年報 |
| EUV 研發 | 投入逾 60 億歐元、歷時十多年才量產 | ASML 官方 |
| High-NA EUV | 0.55 NA、目標支援 2 奈米以下,仍處客戶導入與驗證階段 | 業界進度 |
設備的幾大類,各做什麼
把主要設備類別攤開,對照它們在製程裡的角色:
| 設備類別 | 在做什麼(白話) |
|---|---|
| 微影(光刻) | 用光把光罩上的電路圖「印」到晶圓的光阻上,是最關鍵也最貴的一關 |
| 黃光/光阻塗佈 | 塗上感光材料、曝光、顯影,與微影搭配 |
| 蝕刻 | 依圖形把不要的材料選擇性「雕掉」,分乾式與濕式 |
| 薄膜沉積 | 在晶圓上長出導體、絕緣層等各種薄膜(CVD/PVD/ALD) |
| 化學機械研磨(CMP) | 用研磨墊加研磨液把表面磨得超平,才能疊下一層 |
| 離子植入 | 把摻雜離子打入矽中,改變電性 |
| 檢測與量測 | 量線寬、疊對、膜厚、缺陷,全程把關良率 |
| 清洗 | 去除微粒、殘留與污染,常穿插在各步驟之間 |
全球五大設備廠
這一關高度集中在少數國際大廠,各有主場。
| 公司 | 主要角色 |
|---|---|
| ASML(荷蘭) | 微影/微影機龍頭,獨家供應 EUV,是先進製程的命脈 |
| Applied Materials 應用材料(美) | 材料工程平台最廣,沉積、蝕刻、CMP、離子植入、量測都做 |
| Lam Research 科林研發(美) | 蝕刻、沉積、清洗強項,尤其先進節點的電漿蝕刻 |
| Tokyo Electron 東京威力科創(日) | 塗佈顯影、沉積、蝕刻、清洗,多項設備市占高 |
| KLA 科磊(美) | 檢測量測/製程控制龍頭,幫晶圓廠把關良率 |
這五家加上少數專業廠,幾乎決定了全世界晶圓廠能用什麼工具。也因為門檻這麼高,設備出口才會成為地緣政治的籌碼,美國近年就多次收緊對中國的設備出口。想深入了解微影這一關的命脈地位,可以看 ASML 那一關。
台灣的設備供應鏈:誰做什麼
台灣不是國際前段核心設備(如微影、蝕刻主機)的主要產地,但在不少利基環節有完整供應鏈。把名字按角色歸位來看:
- 家登:做 EUV 光罩盒(保護光罩不被污染的載具)、晶圓載具與相關周邊,屬載具與微污染防護這一塊。
- 辛耘、弘塑:做濕製程設備(清洗、濕蝕刻、光罩清洗等),弘塑另有相關化學品,辛耘也跨足再生晶圓服務。
- 中砂:做 CMP 用的鑽石碟與研磨耗材,是耗材與加工角色,不是主設備廠。
- 崇越:是半導體材料的通路與整合商,供應與代理涵蓋矽晶圓、光阻、特殊氣體、研磨液、載具、零組件等。
- 帆宣:做廠務自動化與系統整合,加上設備材料的銷售與服務。
- 閎康:做材料分析、故障分析等檢測服務,本身不是設備或材料供應商。
- 均豪:做自動化與檢測設備(如自動光學檢測、晶圓分類、先進封裝相關自動化)。
要特別講清楚:這些都是產業角色描述。這些公司的實際客戶、機種與訂單多半保密,市場上把它們對應到哪家大廠或哪個製程,常屬法人推測或市場討論,列名不代表已接單或保證受惠。
「半導體設備概念股」怎麼看
「半導體設備概念股」常被市場拿來討論,通常把上面這些設備、材料、載具、檢測廠都放進這個分類。
理解這個族群的分工很有幫助,能讓你看新聞時快速判斷「這件事影響的是哪一環」。但有兩件事要先放在心上。第一,台灣這些廠多在特定利基環節做產品,和國際五大設備廠的量級、地位不同,不宜混為一談。第二,公開資訊有限,市場上的供應鏈對應關係多屬推測,列名不代表受惠。本文只描述產業角色與供應鏈分工,不整理受益股、不做個股排名,也不構成投資建議。
這一關的重點
看完半導體設備,先記住它的定位:這是整條供應鏈的最上游,沒有設備,再厲害的製程也做不出來。
這一關門檻極高,由 ASML、應材、科林、東京威力科創、科磊五大國際廠把持,其中 ASML 的 EUV 更是先進製程的命脈。台灣的設備材料廠則多在載具耗材、濕製程、材料通路等利基環節切入。理解這個族群的分工很有用,但記得:分工地圖和選股清單是兩回事。